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    Copy mask 規(guī)格

          
    
          

          

          

          

          Copy mask 規(guī)格
          


          1、Mask size (Unit: mm)
          


          Soda lime: 3006、4009、5009、6009、6012
          
Quartz：5009、6009
          


           
          


          2、Mask Specification (Unit: um)
          


          
	
		
          
			Grade
			E
			D
			C
			B
			A
		
          
		
          
			CD
			±0.50
			±0.75
			±1.0
			±1.5
			±2.0
		
          
		
          
			Defect
			<10.0
			<10.0
			<10.0
			<10.0
			<10.0
		
          
	          

          

          

          

          

          


          
 
          

          
    
          
    
          
    
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